吸气剂,也称消气剂,英文名getter,是用来获得、维持器件的真空度以及纯化气体等,能有效地吸着某些(种)气体分子的制剂或装置的通称。有粉状、碟状、带状、管状、环状、杯状等多种形式。
而非蒸散型吸气剂(即NEG合金)通常以金属锆为主体的多元合金组成,非蒸散型吸气剂大量应用于真空电子器件中,为器件创造了良好的真空工作环境,稳定了器件的特性参量,能够维持各种器件的工作性能、有效吸收真空器件的漏放气、保护阴极灯敏感器件,并且提高各种元器件的使用寿命,对真空行业有着重要的影响。
典型非蒸散型吸气剂常用的有:锆铝吸气剂、锆钒铁、锆石墨、锆钛钒、释汞吸气剂等,因不同材料吸气剂的激活温度不同(锆铝吸气剂800℃左右、锆钒铁450℃左右、锆石墨750℃左右、释汞吸气剂900℃左右)所应用的场合有所不同。非蒸散型吸气剂大量应用于真空电子器件中,一般把它制成片状或带状,广泛用于灯光照明、油田隔热油管、功率管、磁控管、真空继电器、气体激光器、吸气泵、不锈钢真空保温容器、X光管、图象转换器、摄像管、磁控管、静电悬浮陀螺仪、心脏起搏器、粒子加速器等装置中,可根据实际使用的结构,设计制作不同结构类型的吸气剂。在现实生活中,不管是在民用行业上还是在国防工业上都能见到它的身影。
吸气剂泵,经过特殊工艺处理后的非蒸散型吸气剂片单元所组成的吸气剂泵主要应用于真空粒子加速器 、实验室真空系统 、薄膜淀积 、真空加工系统 、便携式仪器 、表面分析系统、真空靶室、真空腔体等应用场合,这种泵具备抽速大,可以瞬间抽除真空腔的放气,并且在不需要其他泵的情况下,长期维持大型真空腔的真空度,保证真空腔室内器件的性能。
薄膜吸气剂,非蒸散型吸气剂还可以通过特殊的镀膜工艺直接在真空器件的表面制作成吸气剂薄膜涂层,其显著特点就是在低温150℃-500℃的宽范围温度下,通过激活,在常温下就可以得到良好的吸气效果。这种吸气剂具备非常好的结构兼容性,可以再更为复杂的器件表面制作吸气剂涂层,也具备良好的材料兼容性,可以在金属、玻璃、陶瓷、硅等材料上成膜。这种吸气剂薄膜还具备降低真空室内表面的二次电子产生额,无高压高频,不干扰磁场,不存在漏电现象,无寄生电容器件,广泛应用于MEMS微机电系统、大小型粒子加速器加速腔、光电器件、半导体封装器件或者其他需要长期维持真空度的真空器件。